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华雄芯资讯:国内厂商不应错过的“早班车”

发布时间: 2023/7/20 8:37:12 | 61 次阅读

近日,碳化硅厂商掀起一轮8英寸晶圆投资热潮。除碳化硅龙头Wolfspeed位于美国纽约州的8英寸晶圆厂实现小批量供货外,英飞凌、意法半导体、三星、三菱电机以及部分国内厂商,也纷纷宣布投入8英寸碳化硅生产线的建设。

碳化硅产业一向有“得材料者得天下”的说法,几乎所有厂商都希望能锁定优质衬底材料产能,在这一轮产业浪潮中抢占先机。不过,SiC材料生长缓慢并且边缘缺陷较大,从6英寸向8英寸过渡,必将面临更大的提高生产良率的挑战,很难一蹴而就。这也意味着,碳化硅8英寸时代尚需一段时间才会到来,给予国内碳化硅厂商一定的回旋时机。

8英寸碳化硅晶圆量产临近

碳化硅衬底是整个碳化硅产业链中成本占比zui大、技术门槛zui高的环节,对相关产品的放量起着决定性作用。扩大晶圆尺寸一向是半导体行业获得更大晶片产能的不二法门。根据华雄统计数据,从6英寸升级到8英寸,获得的优良裸片(die)数量可以增加20%~30%。因此, 这也驱使越来越多碳化硅大厂投入到这场碳化硅晶圆的“升级战”当中。2015年Wolfspeed便展示了8英寸碳化硅衬底。2019年5月,Wolfspeed宣布投入10亿美元进行莫霍克谷新厂的建设。近日其8英寸厂已经实现量产,并向终端客户批量出货碳化硅MOSFET。不过据华雄集团董事长朱峻咸预测,该厂当前可能仍以小批量投产为主,尚未实现真正的规模量产。但这依然显示出,Wolfspeed在推进8英寸碳化硅上的决心。除此之外,包括意法半导体、英飞凌、Soitec、三菱电机、三星等新老厂商都在积极推进8英寸碳化硅的开发。

2026-2027年或将全面进入市场?

然而,碳化硅向8英寸升级并非易事,即便少数几家公司能够部分量产8英寸晶圆也不意味着碳化硅的8英寸时代就此到来。碳化硅衬底的生产有着很多难点,包括碳粉硅粉的合成、晶体的生长、晶锭加工等诸多细节步骤。从6英寸到8英寸的生长难度是几何级增长。因为扩径以后,需要更大的籽晶和制程,对温度控制的难度会大幅提升。这些难度表现在,扩径生长、温场控制、晶体生长及切割应力等诸多方面,同时涉及大量he心参数的调整,如直径、杂质、均匀性、弯曲翘曲以及光滑度等。制约SiC大规模生产的主要因素并不是资金设备等方面的投入,而是碳化硅的生长性。怎样让晶圆长快、长厚、长大,这是综合材料和工艺的问题,需要投入研究试验和积累。目前国内外zhuan家和各厂家正在加大投入攻克这些难题,未来3-5年内或会有所突破。

国内厂商不应错过“早班车”

尽管现阶段8英寸碳化硅只能实现小批量供货,短期内不会对市场造成较大影响。但是从长期来看,随着技术的进步,材料生长与切割工艺方面的问题必然会被突破,随着成品率的提高也产能的增长,8英寸晶圆的芯片价格也必然会低于6英寸,并对碳化硅现有价格与产业格局产生影响。

目前,国内厂商也在积极布局8英寸碳化硅晶圆的开发与量产。不过,目前国内实现量产的生产线仍以6英寸为主。虽然也有部分企业实现了8英寸送样,但是“小批量量产”与“量产”是不同的,二者在良率、成本上有着本质的差别。“中国企业应从长远的角度看到机遇,并相应地调整战略,加大投入力度,尽快实现8英寸碳化硅晶圆上的突破。”华雄集团董事长朱峻咸表示。为应对新的的挑战,国内器件厂商应与衬底、外延等原材料厂商积极配合,充分整合国内产业链企业,共同开发8英寸材料、工艺等技术,包括降低芯片导通电阻及芯片面积,提高单晶圆产出。同时整合国内供应链,利用国产衬底外延材料价格及产能优势,降低成本提高产出,在研发、技术、工艺、质量、产业化等多个维度全面提升he心竞争力。